3月11日-12日,德国波鸿鲁尔大学电气工程系等离子体技术课题组教授Julian Schulze受邀来访电机系,并做题为“Knowledge based plasma process development in technological low temperature plasma”的学术报告。北京理工大学物理学院教授郑博聪等20余名师生参加了报告会。会议由电机系高压与绝缘技术研究所副所长付洋洋主持。
Julian Schulze做学术报告
报告中,Julian Schulze详细系统地介绍了德国波鸿鲁尔大学等离子体技术课题组在低温等离子技术领域的模拟和实验研究工作,包括等离子体电子动理学、电子加热机理、参数控制、对等离子体参数实验测量等方面的最新研究进展。报告结束后,与会师生与Julian Schulze就等离子体粒子仿真模型、参数调控手段、实验诊断等问题进行了探讨,在课题研究、学术合作及人员交流访问等方面达成良好共识。
姚健雄、杨栋、张文瑾做学术报告
北京理工大学博士生姚健雄,清华大学电机系博士生杨栋、博士后张文瑾以射频耦合等离子体为主题进行了相关学术报告,并就磁场对等离子体电子动理学行为,射频击穿特性以及放电相似性与标度律等问题与Julian Schulze进行了深入的交流与讨论。
会议现场
Julian Schulze于2009年在波鸿鲁尔大学获得等离子体物理学博士学位,2010-2011年在匈牙利科学院维格纳物理研究中心进行博士后研究,2013年在美国西弗吉尼亚大学任等离子体物理学助理教授。2016年以来担任德国波鸿鲁尔大学电气工程系教授,2022年受聘为大连理工大学物理系客座教授。Julian Schulze及其团队致力于低温等离子体模拟与实验诊断研究,包括等离子体中微观粒子的动理学特性、等离子体和材料表面相互作用机理等,为半导体工业芯片加工工艺(如刻蚀、沉积)方面的等离子体技术优化提供理论指导。Julian Schulze在国际著名期刊发表重要学术论文200余篇,H-index指数45,是低温等离子体物理领域的国际知名专家。
会后合影